纤薄设计,高效配置。 当设备内部空间有限,系统配置效率成为关键。 DTC3000 的超薄机身与 DIN Rail 设计, 专为机柜内高密度安装与系统整合而打造, 在有限空间中实现稳定且精准的温度控制, 让系统扩展更灵活、配置更高效。
12.9 mm 纤薄设计, 结合 DIN Rail 安装, 优化系统配置效率
具备 ±0.3% PV 精度, 搭配冷接点补偿技术升级, 确保精准量测
20 ms 高速采样,实时掌握 温度变化,搭配 2-DOF PID 控制,避免温度过冲与震荡
随着半导体先进制程的快速演进,晶圆湿制程日益复杂,动辄 20 组以上的温控器与多样化控制组件,成为设备控制盘体积过大、配线空间拥挤的原因之一。
DTC3000
在相同 20 组温控配置下,仅需一半的控制盘使用空间。
透过 RS-485 通讯,简化配线并实现实时监控。
20ms 高速取样、±0.3% PV 的精度,满足严苛的晶圆清洗需求。
可有效缩减控制盘体积,达成设备小型化与多功能化之目的,同时降低安装、配线与维护的整体成本 (TCO)。
*相较于 DTC1000,DTC3000 可节省超过 50% 的空间。
高密度多区段精密加热控制
高速热封与封切制程优化
严格温控确保制程安全与质量
稳定控温提升胶合与压合良率
精确控制热分布,降低能源损耗
搜寻与筛选相关下载文件、支持档案与软件。
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